一、光學微電子凈化工程一般包括哪些功能分區：
1.潔凈生產區
2.管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）
3.潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
二、電子實驗室凈化標準參數：
二、電子實驗室通用結構材料：
1.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
2.高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
3.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
4.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
四、三仁電子廠/電子實驗室凈化空調方案
方案一:目前來說是較傳統的凈化空調設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段，如初效過濾段、混合段、表冷段、中效過濾段、二次回風段(或中間段)加濕段、加熱段、風機段等。其中冷源主要由冷水機組提供。
方案二:相較于方案一，方案二是比較簡單的潔凈空調設計方案。不僅可以大大地縮小機房的面積，還可以讓水冷柜機根據具體的情況布置在較小的凈化車間內或機房內,同時還可以將增壓風柜布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。
方案三：主要用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間,是較簡易的空調方案�？芍苯訉⒎煮w空調柜機布置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。
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